架空地板应用

洁净室防静电地板

洁净室是一个超级洁净的环境,它不但要控制通风、过滤、温度、湿度、气压以及离子化等,还要同时对环境内的材料和其他参数进行控制。洁净室的洁净度决定于空气中的悬浮微粒数量,微粒的首要计量单位是微米,即10-6 米,大致相当于0.000039英寸。

控制静电荷产生在洁净室是非常必要的。静电可能影响生产,也可能使自动化设备受到电磁干扰而失灵,静电产生的静电引力(ESA)还会减少表面的粒子粘附数量。静电荷与产品和工具表面污染密切相关,这一点让ESA 越来越受到重视。例如,一个4 英寸的晶片带1000V 的静电后,对一个直径1 微米的粒子的静电引力强度高达830000 磅力/平方英寸。可以看出,带电体的静电引力要比重力、气流力和粘着力相比要高得多。防静电地板是洁净室重要的防静电材料。

 


特殊定制的无水泥钢地板,满足洁净室无尘需求。



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